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The BCM Metrology sub-module guides a part of the laser beam into the temperature-controlled high-finesse Etalon via an optical fiber and illumination optics to form a fringe. This fringe is guided into the low-noise VUV-detecting CCD sensor through high-resolution imaging optics, then converted into an electrical signal.
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BCM 計測 モジュールはレーザ光の一部を 光ファイバ（Optical fiber）、 照明光学系（Illumination optics）を通し、精密に温度制御された高フィネスエタロン（High finess Etalons）へ入射させ、フリンジを形成します。形成されたフリンジは高解像度結像光学系（High resolution imaging optics）を通し、低ノイズVUV検出可能CCDセンサ（Low noise VUV detective CCD sensor）へ入射し、電気信号へと変換されます。フリンジ信号はE95計測用に設置されたコントローラにより、デコンボリューション （Deconvolution）処理*され、精度の高いE95計測を実現しています。
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BCM 계측 모듈은 레이저광의 일부를 광섬유(Optical fiber), 조명 광학계(Illumination optics)를 통해 정밀하게 온도 제어된 고피네스 에탈론(High finess Etalons)에 입사시켜 줄무늬(fringe)를 형성합니다. 형성된 줄무늬는 고해상도 결상 광학계(High resolution imaging optics)를 통해 저노이즈 VUV 검출 가능 CCD 센서(Low noise VUV detective CCD sensor)에 입사되어 전기 신호로 변환됩니다. 줄무늬 신호는 E95 계측용으로 설치된 컨트롤러를 통해 디콘볼류션(Deconvolution) 처리*되어 정밀도가 높은 E95 계측을 실현하고 있습니다.
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