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La línea Standard del CMAM está bien preparada para este tipo de análisis, ya que cuenta con detectores de RBS y ERD, y adicionalmente con detectores de rayos gamma y rayos X. La línea de ERDA-TOF ofrece, además, una elevada sensibilidad para la detección de elementos ligeros, que es un tema crítico en estos materiales [1]. Junto con las ténicas IBA, el CMAM cuenta también con un sistema de pulverización catódica para el crecimiento de láminas delgadas y recubrimientos, que se ha utilizado para estudiar diversos materiales semiconductores tales como Si, SiGe, o TiO2.
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