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So-called secondary electrons (SE) enable the observation of surface topography with a lateral resolution down to few nanometers, whereas images produced by detection of elastically backscattered electrons (BSE) present a material contrast.
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Für die Untersuchung der Festkörperoberflächen mit hoher Ortsauflösung auf der Mikro- und Nanometerskala wird ein Umwelt- Rasterelektronenmikroskop (ESEM) angewendet. Mit einem fokussierten Elektronenstrahl wird die Probenoberfläche abgerastert. An jedem Punkt entstehen unterschiedliche Signale die detektiert jeweils zu einem Bild mit entsprechendem Informationsgehalt beitragen. Die Sekundärelektronen (SE) ermöglichen die Darstellung der Oberflächentopographie mit einer lateralen Auflösung von einigen Nanometern, während die Rückstreuelektronen (RE) ein Materialkontrastbild liefern. Die Detektion der entstehenden charakteristischen Röntgenstrahlung ermöglicht die Bestimmung der Atomkonzentrationen auf Probenoberflächen im Mikrometermaßstab (energiedispersive Röntgenspektroskopie, EDX).
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So-called secondary electrons (SE) enable the observation of surface topography with a lateral resolution down to few nanometers, whereas images produced by means of elastically backscattered electrons (BSE) present an elemental contrast.
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REM-Untersuchungen werden am INE im radioaktiven Kontrollbereich mit einem FEI QUANTA 650 FEG Umwelt-Rasterelektronenmikroskop durchgeführt (Abb. 1). Mit einem fokussierten Elektronenstrahl wird die Probenoberfläche abgerastert. An jedem Punkt entstehen unterschiedliche Signale die detektiert jeweils zu einem Bild mit entsprechendem Informationsgehalt beitragen. Die Sekundärelektronen (SE) ermöglichen die Darstellung der Oberflächentopographie mit einer lateralen Auflösung von einigen Nanometern, während die Rückstreuelektronen (RE) ein elementares Kontrastbild liefern. Detektion der entstehenden charakteristischen Röntgenstrahlung ermöglicht die quantitative Bestimmung von Atomkonzentrationen von Proben im Mikrometermaßstab (energiedispersive Röntgenspektroskopie, EDX).